加速度15G,响应快
晶圆打标
用于激光打标行业,晶圆的激光打标为精度的要求高、对单片晶圆的打标时间要求越短越好,要求平台的定位精度高、速度快,所以采用直线电机是最合适的选择
xY两轴都是用直线电机
行程300x300mm,最大可打8英寸晶圆
定位精度士3μm
加速度10g
用于LED行业LED晶圆片的激光切割。要求加工平台的重复定位精度和定位精度高,速度平稳,必须使用直线电机驱动
XY两轴使用直线电机,旋转轴使用纳米电机用于转加工角度
定位精度±1Hm
旋转轴定位精度1/1000°
可切割3-5英寸晶圆
