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RENISHAW 雷尼绍增量式圆光栅与绝对式光栅尺

RENISHAW 雷尼绍增量式圆光栅与绝对式光栅尺

RESR / RESM(增量式)和RESA(绝对式)圆光栅
RESR、RESM和RESA圆光栅是一体式不锈钢圆环,将精细栅线直接刻划到柱面上。RESR和RESM圆光栅采用增量式栅尺,RESM型号采用IN-TRAC自动调相光学参考零位。RESA圆光栅上刻有独特的单码道绝对式栅尺刻线,绝对位置和增量相位信息直接嵌入单个代码。
RESR、RESM和RESA的精度和准确度很高,分辨率达0.0003角秒(32位RESA),适用于精度要求极高的应用场合。非接触形式消除了影响传统封闭式光栅的反向间隙、扭转误差(扭变)及其他机械滞后误差。

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RESR / RESM(增量式)和RESA(绝对式)圆光栅

RESR、RESM和RESA圆光栅是一体式不锈钢圆环,将精细栅线直接刻划到柱面上。RESR和RESM圆光栅采用增量式栅尺,RESM型号采用IN-TRAC自动调相光学参考零位。RESA圆光栅上刻有独特的单码道绝对式栅尺刻线,绝对位置和增量相位信息直接嵌入单个代码。

RESR、RESM和RESA的精度和准确度很高,分辨率达0.0003角秒(32位RESA),适用于精度要求极高的应用场合。非接触形式消除了影响传统封闭式光栅的反向间隙、扭转误差(扭变)及其他机械滞后误差。

RESR圆光栅由RGH20、RGH20F、RGH34和RGH40读数头读取。RESM圆光栅由TONiC和SiGNUM读数头读取。这些圆光栅的特点在于具有极强的抗污、抗划痕和抗指纹的能力等。

圆光栅轻薄小巧、内径大,易于集成到大多数设计中,同时,客户通过独特的锥面安装可最大程度上降低轴的制备成本,缩短安装时间,优化精度,并以坚固耐用的特性抵御强烈的振动和冲击。RESR、RESM和RESA有多种直径和刻线数可供选择,从52 mm到550 mm不等,还可根据要求定制尺寸。RESA(绝对式)圆光栅与RESOLUTE读数头兼容;是真正的绝对式光栅,开启后立即确定绝对位置,因此可以立即全面控制运动轴。RESOLUTE也支持达到32位(每转42.9亿个计数)的高分辨率,兼具高达100 m/s的切线速度。对安全性要求极高的应用场合,集成的位置校验算法也十分有用。

RESR 圆光栅

雷尼绍光栅具有最佳的灵活性、市场领先的性能和低购买价格,使其成为机器设计者的首选。多年来,我们一直帮助用户安装灵活的有锥度基面的圆光栅,从而获得许多关于圆光栅应用的知识。借助于这种经验,我们开发出了一种圆光栅产品,其不止是一些特色的罗列,而更是能从根本上诠释用户使用意图的产品。RESR 圆光栅是基于雷尼绍的独一无二的RGR 圆光栅基础开发出来的,它是在不锈钢圆环的表面使用了雷尼绍灵活的直线光栅。而RESR 圆光栅的刻线是直接刻在圆环的外表面上的(栅距20μm 或40μm ),这样就消除了R G R 潜在的在接合处信号丢失的危险,简化了安装过程并实现较高的速度。栅距20μm 的RESR 圆光栅使用雷尼绍新型的RGH20 读数头,而栅距40μm的RESR 光栅使用RGH34 或RGH40 读数头。顺理成章地,所有读数头都具有雷尼绍的独一无二的光学滤波系统的设计,可在有污物、划痕或油腻指纹情况下读数。RESR 有多种直径可选,所有内径有共同特色,即比外径小20mm,使它们具有超小的截面和大的内径 

—易于安装所有必需的管线。这种轻薄的设计赋予其非常低的转动惯量,保证无论安装在哪里,整个系统扭矩最小,速度最快。虽然横截面小,却不影响它的精度。事实上,与雷尼绍的获得专利的锥度基面安装配合使用,所有的安装超差

—包括那些来自于原安装面的误差

—以及跳动或椭圆度都可通过简单而牢固的精确调整获得补偿。

为何要使用RESR?

系统精度为± 0.7″(光栅直径为413mm)

角度分辨率为0.01″

多种直径和刻线数,与一系列的工业标准的控制器兼容(直径从52 m m 到413 m m,刻线数从

4096 到64800 )

高速、非接触的光学测量系统

零反向间隙

具有专利的锥度基面安装方式,

使安装简单、误差最小

与高真空兼容

外型小巧,易于集成

低质量、低转动惯量

有100,150 和200 m m 外径的超低转动惯量的圆光栅可选

RGH20 简介

与20μm 栅距RESR 圆光栅兼容光学滤波系统提供优异的抗污迹能力

小巧坚固的外壳

工业标准的数字和模拟信号输出

内置细分卡和安装LED 指示灯

分辨率从5 μm ,1 μm,0.5 μm ,0.1μm,50nm,20nm 到10nm

参考零位或单限位开关传感器

高柔性双屏蔽8 芯电缆

三态低电平报警信号或全报警输出

14.8mm(或10.5 mm )×36.0mm×13.5mm (H×L×W)

可选高真空兼容型

RESR 的应用案例

许多应用依赖于精密回转运动:回转方式的计算机制版印刷系统,插装机,轮廓测量,转台,机床的A、B 和C 轴,晶片处理和测角仪等,均使用角度编码器。每种应用各不相同,但均得益于RESR所提供的一些本质特征:高精度,高分辨率,高重复性,轻便,易于安装和可靠性。这些均由占用最小空间的形式来提供。圆光栅越小,安装越容易。

照相机

俯仰和扭摆自动监控照相机和进行远距离观测用勘察照相机,需要全方位视角并必须具有灵活性,而且要有很高分辨率的定位。照相机角度极小的调节会引起所观测区域的极大变化因此圆光栅提供尽可能高的分辨率和重复性是非常重要的。

晶片处理

硅晶片具有很高的价值,要求小心处理。晶片处理系统尤其以半导体晶片的传输和定向为特征。必须快速、精确、可靠,并且能够随机访问不同尺寸的晶片。为了达到这些要求,晶片处理系统要求有特殊的与精密移动部件和直接安装的高分辨率圆光栅连接的控制接口,以实现闭环伺服控制系统的位置反馈。

印刷和扫描

尽管电子工业有长足的增长,然而印刷工业的产出仍连年增长。由于人眼能够分辨出印刷图象细微的不连续,因此专业的扫描和CTP 系统需要具有良好性能且周期误差小的直线光栅和圆光栅。印刷材料的增长要求C T P 系统能够高速、可靠的操作,以保证底版能够根据需要进行大批量的生产。

 

RESR 性能

与角度运动系统有关的误差源可以简单的分为重复性误差和不重复误差.重复性误差对于一个模块化的非接触圆光栅如

RESR,其重复性误差包括:

圆光栅固有的误差

产品安装误差

在这些方面,RESR 具有优异的性能。雷尼绍独到的制造工艺提供了极高的刻划精度。再结合雷尼绍著名的“滤波式”读数头,使整个系统达到很高的精度。雷尼绍专利的锥面安装方式能使安装误差最小,简化了系统的集成,缩短了安装时间。

不重复误差角度运动系统的不重复误差必须引起重视,因为这些误差不可补偿。内置轴承的密封式编码器通常有下列固有的误差:

耦合的反向间隙

传动轴的扭距误差(扭转)

耦合损失及角度误差

其它形式的机械滞后所带来的不重复误差作为一种模块化的非接触系统,

RESR 没有上述缺点,使得其系统的重复精度达到其它任何密封式编码器难以

匹敌的水平---RESR 最高的光栅系统重复精度最高达0.01″*。在413 ㎜的RESR 上,采用RGH20F/

RGF2000 读数头读取数据。

R E S R 优异的重复精度,使得:

机器能达到极高的重复精度

实现微小的精密角度位移

提高了机器的测量性能

RESR 优异的重复精度,使得系统误差能够被标测,从而提高精度。同时在一个环上使用多读数头,可

消除轴的跳动,进一步提高精度。RESR 环可以采用三种安装方式中的任意一种安装方法。采用包含

30 度的锥孔,通过调整安装螺钉控制偏心和轮廓误差,使径向跳动最小,锥面安装可以达到很高的安装

精度。对于要求较低的应用场合,间隙配合的安装方式提供了非常简单的安装方法,而过渡配合的安装方

式可控制椭圆度、增加刚性。读数头的安装间隙宽松,再加上安装用LED,使得RESR 读数头的安装简单明了。此外还有特殊设计的明简单了。此外的参考零位可用于各种尺寸的光栅环上。圆光栅的角分辨率和最大转速取决于光栅的直径和所选用读数头的分辨率。下面的20μm 栅距RESR 性能表显示了各种尺寸的圆光栅选用5 μm 读数头的最大转速。同时给出了这些产品的“制造精度”和“系统误差”。

RESR 系列

刻划精度达± 0.5″

系统精度达± 0.7″

分辨率达± 0.01″

重复性达± 0.01″

直径尺寸范围从ф 52 mm 到ф 413 mm

刻线数从4096 到64

 

RENISHAW雷尼绍圆光栅_苏州美新精密电机有限公司

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Tel: +86-512-82079043

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